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オールインワン型
インクジェット塗布装置
(8 & 12インチウエハサイズ)
品番:IP300
全面・部分コーティング
全自動型インクジェット塗布装置
2カセット→搬送→ウエハアライメント→IJ塗布→乾燥まで一貫で行えるウエハモデル。